涡流膜厚计-电磁膜厚计-音叉振动流变仪-池田屋实业(深圳)有限公司

您好，歡迎進(jìn)入池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司網(wǎng)站！
全國(guó)服務(wù)熱線：13027923555
相關(guān)文章

Related articles

產(chǎn)品中心/ products

您的位置：首頁(yè)  -  產(chǎn)品中心  -  ULVAC愛(ài)發(fā)科  -  真空泵  -  UR1800日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 真空泵

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 真空泵

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 真空泵
通過(guò)高溫領(lǐng)域的泵體均熱化，實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵

  • 更新時(shí)間：2024-05-29
  • 產(chǎn)品型號(hào)：UR1800
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 訪  問(wèn)  量：180
立即咨詢

聯(lián)系電話：

產(chǎn)品詳情

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 真空泵

日本ULVAC愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干泵 真空泵


特點(diǎn)

高溫區(qū)域均熱化

實(shí)現(xiàn)將CVD、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出。

UR系列可比HR系列更加高溫化。

氦氣密封

通過(guò)搭載屏蔽電動(dòng)機(jī)形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。

瞬停對(duì)策

采取了1000msec以內(nèi)瞬停對(duì)策。

出色的耐腐蝕性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時(shí)對(duì)泵內(nèi)部的腐蝕。

通信功能

可讀取與泵運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報(bào)警履歷。如果使用專用軟件進(jìn)行計(jì)算機(jī)通信，則可實(shí)現(xiàn)集中監(jiān)控。


用途

CVD裝置

蝕刻裝置

灰化裝置

ALD、ALH 等



規(guī)格

型號(hào)UR421-TUR600UR1200UR1800UR3601-TT
使用泵干式真空泵
UR421-T
UR90UR90UR180UR421-T
機(jī)械增壓泵-PRC-006APRC-012APRC-018APRC-036C-T
最大
排氣速度		50Hz410 m3/h
(6833 L/min)		653 m3/h
(10883 L/min)		1012 m3/h
(16867 L/min)		1701 m3/h
(28350 L/min)		2700 m3/h
(45000 L/min)
到達(dá)壓力
5.0 Pa
最大排氣壓力（吸入圧力）大氣壓
最大排氣口壓力
（排出圧力）		1.0~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)VG100
VG80(NW80)
VG100(NW100)
VG150(NW100)
VG150
排氣口VG50
NW40
NW50
質(zhì)量415 kg370 kg403 kg553 kg720 kg
電源 *2三相180～240 VAC/
380～440 VAC
(50/60 Hz)		200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz)180～240 VAC/
380～440 VAC
(50/60 Hz)
電流值穩(wěn)定時(shí)23 A(at 200V)16.4 A(at 200V)18.9 A(at 200V)29.2 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)		39.8 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
最大值52.5 A(at 200V)17.3 A(at 200V)22. 4 A(at 200V)34.9 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)		68.3 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷卻水一次壓力0.2~0.5 Mpa0.1~0.3 Mpa0.2~0.5 Mpa
冷卻水出入口壓差>0.2 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.1 Mpa>0.2 Mpa
冷卻水流量>5.0 L/min
吹掃氣一次壓力0.1~0.5 Mpa
二次壓力0.05~0.1 Mpa



在線咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品：

  • 您的單位：

  • 您的姓名：

  • 聯(lián)系電話：

  • 常用郵箱：

  • 省份：

  • 詳細(xì)地址：

  • 補(bǔ)充說(shuō)明：

  • 驗(yàn)證碼：

    請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

  • 企業(yè)名稱：

    池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司

  • 聯(lián)系電話：

  • 公司地址：

    深圳市龍華區(qū)龍華街道松和社區(qū)匯食街一巷7號(hào)3層

  • 企業(yè)郵箱：

    zy@ikedaya.cn

掃碼添加微信

Copyright © 2024池田屋實(shí)業(yè)(深圳)有限公司 All Rights Reserved    備案號(hào)：粵ICP備2023000448號(hào)

技術(shù)支持：化工儀器網(wǎng)    管理登錄    sitemap.xml