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日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 LR 系列

日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 LR 系列
通過低溫區(qū)域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

  • 更新時間：2024-05-31
  • 產(chǎn)品型號：LR421-T
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 訪  問  量：176
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產(chǎn)品詳情

日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 LR 系列

日本ULVAC愛發(fā)科 多級羅茨型干泵 LR 系列


特點

低溫區(qū)域均熱化（LR系列）

在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時間的重要的備料下料室排氣的一款泵。

氦氣密封

通過搭載屏蔽電動機形成密閉結(jié)構(gòu)，非常安全。

瞬停對策

采取了1000msec以內(nèi)瞬停對策。

出色的耐腐蝕性

主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蝕性的特殊表面處理。降低腐蝕性氣體排氣時對泵內(nèi)部的腐蝕。

通信功能

可讀取與泵運轉(zhuǎn)狀態(tài)相關(guān)的數(shù)據(jù)、警告/報警履歷。如果使用專用軟件進行計算機通信，則可實現(xiàn)集中監(jiān)控。


用途

成膜裝置（濺射裝置/蒸鍍裝置等）

縮短備料下料室的排氣時間

作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機械增壓泵的輔助排氣）


池田屋實業(yè)(深圳)有限公司成立于2015年，位于廣東省深圳市，是一家從事中日貿(mào)易的企業(yè)。

公司經(jīng)過多年的發(fā)展，已整合多方海外廠商渠道，有穩(wěn)定的合作關(guān)系，為企業(yè)提供售賣、維修、售后等一系列節(jié)能降本的服務(wù)。

池田屋主要經(jīng)營日本科學儀器設(shè)備、實驗室儀器、各類檢測儀器、測量儀器、食品設(shè)備、光學設(shè)備、精密傳感器等各類工業(yè)流通產(chǎn)品。

公司擁有專業(yè)的銷售團隊、技術(shù)團隊、資深的管理團隊，通過全體員工的不懈努力，憑借在工業(yè)品領(lǐng)域的專業(yè)水平和成熟技術(shù)，

服務(wù)于電子消費類、半導(dǎo)體，液晶光電，汽車業(yè)、造船業(yè)、地鐵、等專業(yè)用戶里的世界500強企業(yè)。

規(guī)格

型號LR60LR90LR180LR421LR421-T
最大
排氣速度		50Hz62 m3/h
(1030 L/min)		112 m3/h
(1860 L/min)		183 m3/h
(3100 L/min)		440 m3/h
(7333 L/min)		440 m3/h
(7333 L/min)
60Hz80 m3/h
(1333 L/min)		126 m3/h
(2100 L/min)		237 m3/h
(3950 L/min)
到達壓力5.0 Pa
最大排氣壓力 （吸入圧力）　大氣壓
最大排氣口壓力
（排出圧力）		1~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG100
排氣口KF40VG50
質(zhì)量180 kg245 kg335 kg415 kg
電源 *1三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
380~440 VAC(50/60 Hz)
電流值穩(wěn)定時6.9 A
(at 200V)		11.2 A
(at 200V)		18.9 A
(at 200V)		20.8 A
(at 200V)
最大值7.3 A
(at 200V)		11.8 A
(at 200V)		20.6 A
(at 200V)		48.5 A
(at 200V)
冷卻水一次壓力0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷卻水出入口壓差>0.1 MPa>0.2 MPa
冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
吹掃氣一次壓力0.1~0.5 MPa
二次壓力0.05~0.1 MPa
氮氣吹掃軸5 SLM
氣鎮(zhèn)0~45 SLM沒有0~45 SLM


















型號LR300LR600LR1200LR1800LR3601LR3601-T
(TT)		LR3601-RLR3601-TR
(TTR)
使用泵干式
真空泵		LR60LR90LR90LR180LR421LR421-TLR421LR421-T
機械
增壓泵		PRC-03APRC-06APRC-012APRC-018APRC-036CPRC-036C
(-T)		PRC-036DPRC-036D
(D-T)
最大
排氣
速度		50Hz359 m3/h
(5,980
L/min)		653 m3/h
(10,900
L/min)		1,012 m3/h
(16,900
L/min)		1,701 m3/h
(28,350
L/min)		3,200 m3/h(53,333 L/min)
60Hz365 m3/h
(6,080
L/min)		701 m3/h
(11,700
L/min)		1,051 m3/h
(17,500
L/min)		1,784 m3/h
(29,700
L/min)
到達壓力0.67 Pa
最大排氣壓力
（吸入圧力）		大氣壓
最大排氣口壓力
（排出圧力）		1~ 大氣壓 Pa
吸氣口 (CE規(guī)格)VG80
(KF80)		VG100
(KF100)		VG150
(KF100)		VG150
排氣口KF40KF50
MBP表面處理〇 *1〇 *1〇 *1〇 *1×T:×
TT:×		×TR:×
TTR:〇
質(zhì)量275 kg370 kg420 kg545 kg660 kg720 kg660 kg720 kg
電源
*2		三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
電流值穩(wěn)定時7.0 A
(at 200V)		12.3 A
(at 200V)		13.7 A
(at 200V)		21.4 A
(at 200V)		31.0 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)		35.4 A(at 200V)
20.5 A(at 400V)
最大值9.6 A
(at 200V)		19.0 A
(at 200V)		24.2 A
(at 200V)		39.8 A
(at 200V)		58.4 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)		82.0 A(at 200V)
40.5 A(at 400V)
冷卻水
一次壓力		0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷卻水
出入口壓差		>0.1 MPa0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
吹掃氣一次
壓力		0.1~0.5 MPa
二次
壓力		0.05~0.1 MPa
N2
吹掃		軸5 SLM
氣鎮(zhèn)0~45 SLM沒有 *30~45 SLM沒有 *30~45 SLM





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